在透明非結(jié)晶氧化物半導(dǎo)體國(guó)際會(huì)議“International Workshop on transparent amorphous oxide semiconductors（TAOS 2010）”（1�25�26日，東京工業(yè)大學(xué)SUZUKAKEDAI校區(qū)）首日主題演講會(huì)之后舉行的“FPD I”研討會(huì)上，代表日本和韓�(guó)�3家FPD企業(yè)分別�(fā)布了透明氧化物半�(dǎo)體TFT的最新開(kāi)�(fā)成果。夏普、韓�(guó)LG顯示器及韓國(guó)三星電子（Samsung Electroncis）依次登�(tái)演講。三家公司對(duì)透明氧化物半�(dǎo)體TFT的優(yōu)�(shì)及目�(biāo)用途的�(rèn)�(shí)基本一致。為了確保可靠性達(dá)到實(shí)用水平，三方已展�(kāi)激烈競(jìng)�(zhēng)�
最先發(fā)表演講的是夏普。演講內(nèi)容是已在2009�12月舉行的�(xué)�(huì)“International Display Workshops（IDW）”上公開(kāi)�(guò)的、使用透明氧化物半�(dǎo)體IGZO（In, Ga, Zn, O）的2.6英寸QVGA�320×240像素素）TFT液晶面板（參閱本站報(bào)道）。夏普稱(chēng)，這種面板解決了IGZO濺射工藝�(wěn)定性及IGZO-TFT可靠�?xún)煞矫娴膯?wèn)題。夏普還�(chēng)，IGZO-TFT的可靠性可與普通TFT液晶面板使用的非�(jié)晶硅TFT相當(dāng)。試制的液晶面板為T(mén)N模式、灰階為6bit、對(duì)比度�300�1。該公司還將試制面板帶入�(huì)�(chǎng)�(nèi)的展示區(qū)，現(xiàn)�(chǎng)演示了彩色影像的顯示情況�
韓國(guó)雙雄LG和三星展�(kāi)�(jìng)�(zhēng)
兩家韓國(guó)公司均首次公�(kāi)了新�(shù)�(jù)。LG顯示器首先發(fā)表了演講，演講內(nèi)容包括，�1）在刻蝕阻擋層（Etch Stopper）中采用SiO2的IGZO-TFT；（2）在IGZO層上形成TiOx膜的新結(jié)�(gòu)IGZO-TFT的開(kāi)�(fā)�
�(guān)于（1）中提及的SiO2刻蝕阻擋�(jié)�(gòu)的IGZO-TFT，LG提到了原�(lái)存在的問(wèn)題——“光�(duì)TFT特性造成的影響”，并稱(chēng)“即使在4500cd/㎡亮度的背照燈光條件下，也可確保充分的可靠性”。另外，�(guān)于外光及溫度的影響，LG�(chēng)�(méi)有問(wèn)題。LG目前正在使用這種IGZO-TFT，開(kāi)�(fā)15英寸電視用有�(jī)EL面板。每�(gè)像素�5�(gè)晶體管和兩�(gè)電容器組成。像�?cái)?shù)�1366×768，亮度為200cd/㎡�
至于�2）中提到的設(shè)有TiOx膜的IGZO-TFT，LG�(chēng)與SiO2刻蝕阻擋�(jié)�(gòu)的IGZO-TFT相比，制造工藝簡(jiǎn)單，而且成本低。該公司此次還提到了IGZO-TFT的性能及可靠性，�(chēng)“與SiO2刻蝕阻擋�(jié)�(gòu)的IGZO-TFT相當(dāng)”。據(jù)�(chēng)遷移率可�(dá)�9cm2/Vs以上�
三星電子的演講內(nèi)容包括，（a）基�6步光掩模工藝的刻蝕阻擋結(jié)�(gòu)IGZO-TFT的開(kāi)�(fā)；（b）在液晶面板的底板使用IGZO-TFT�(shí)的長(zhǎng)期可靠性；（c）IGZO-TFT面板的試制等三�(gè)方面。關(guān)于（a）中提到的基�6步光掩模工藝的刻蝕阻擋結(jié)�(gòu)IGZO-TFT，三星稱(chēng)可開(kāi)�(fā)出高性能TFT。該公司表示，能夠獲得遷移率�5�7cm2/Vs、NBTS（negative bias temperature stress）穩(wěn)定性低�1V的出色性能。據(jù)�(chēng)光對(duì)斷態(tài)電流�(chǎn)生的影響也小于非晶硅TFT，而且十分�(wěn)定�
（b）中提及的用于液晶面板時(shí)的長(zhǎng)期可靠性，仍是今后的研究課題。三星指出了光會(huì)造成閾值電壓隨偏壓�(yīng)力（Bias Stress）變化加快的�(wèn)題。這會(huì)造成液晶面板顯示混亂。作為最新的研究案例，該公司介紹了亮度為10000cd/m2的白色LED背照燈光的影響。關(guān)于（c）中提到的IGZO-TFT面板試制，三星介紹了顯示器用17英寸SXGA液晶面板，以及內(nèi)置柵極驅(qū)�(dòng)器（Gate Driver）的�(gè)人電腦用15.1英寸WXGA液晶面板。該公司還將15.1英寸WXGA液晶面板帶入�(huì)�(chǎng)�(nèi)的展示區(qū)，現(xiàn)�(chǎng)演示了彩色影像的顯示�
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